Оборудование для высоковакуумных систем: клапаны, затворы и арматура, рассчитанные на давление до 10⁻⁶ Па и ниже. Более двухсот сорока позиций SMC.Чем отличается от обычной арматурыВ высоком вакууме имеет значение всё, что в обычной пневматике не замечают: газовыделение материалов, натекание через уплотнения, адсорбция на внутренних поверхностях. Поэтому здесь другие материалы, другая обработка поверхности и другие уплотнения — металлические или из специальных эластомеров с низким газовыделением.Что внутриЭлектромагнитные клапаны серии XSA — для напуска чистых газов, с присоединением VCR и другими вакуумными стандартами.Угловые и прямые клапаны — для магистралей откачки.Щелевые затворы — для шлюзовых камер.Клапаны мягкого напуска — плавное восстановление давления без завихрений, которые поднимают частицы с поверхностей.Применение: полупроводниковое производство, установки нанесения покрытий, аналитические приборы, исследовательские установки.Для подбора нужны тип присоединения, рабочее давление, состав газа и требования по чистоте.
