Высоковакуумные клапаны угловой и прямой конструкции с сильфонным уплотнением штока. Применяются в вакуумных установках, камерах напыления, аналитическом оборудовании.
26 позиций. XLA и XLAV — угловые сильфонные, XMA и XMH — прямые, XYA и XLJ — специальные исполнения.
Обозначение: XLA-16-2M9// — типоразмер по присоединению, исполнение по приводу и датчикам положения.
Сильфон отделяет вакуумную полость от привода: шток движется, а герметичность обеспечивается упругим сильфоном, а не трущимся уплотнением. Это принципиально для высокого вакуума — обычное уплотнение натекает.
Подбирают по типу вакуумного присоединения (KF, CF, ISO), проводимости и допустимому давлению. Проводимость важнее диаметра: в высоком вакууме угловой клапан и прямой того же присоединения дают разную скорость откачки.
