Резкий напуск в вакуумную камеру — это не просто шум. Поток атмосферы, ворвавшийся в объём, поднимает осевшую пыль, гоняет её по камере и укладывает обратно на подложки. Там, где вакуум нужен ради чистоты, быстрый напуск уничтожает результат работы.
Серия XVD2 из действующего раздела новинок SMC — клапан именно для плавного напуска: он ограничивает скорость нарастания давления, а не просто открывает проход.
При пропадании питания клапан закрывается сам. Для вакуумной установки это единственно допустимое поведение: обесточенная система не должна открывать камеру в атмосферу. То же соображение действует и при аварийном останове.
Swagelok и VCR — присоединения для сверхчистых и высоковакуумных линий, где обычная резьба не подходит по натеканию. VCR с металлической прокладкой держит прогрев камеры; Swagelok проще в монтаже и переносит переборку. Выбор идёт от того, прогревается ли установка и какое остаточное давление нужно удержать.
О клапане напуска общего назначения для тех же систем мы писали в материале о серии XSA: XSA открывает и закрывает линию, XVD2 управляет тем, насколько плавно это происходит.
Прочее оборудование этого класса — в разделе изделий для высокого вакуума.
Подобрать исполнение под вашу установку — напишите нам.
