В высоковакуумной установке напуск — операция, которая портит вакуум законно: камеру нужно вернуть к атмосфере, чтобы её открыть. Сложность не в самом напуске, а в том, что клапан для него остаётся в системе постоянно и всё остальное время обязан быть абсолютно герметичным.
Обычный пневматический клапан для этого не годится: его натекание на порядки больше, чем допускает высокий вакуум. Серия XSA из действующего раздела новинок SMC рассчитана именно на эту работу.
Нормально закрытые электромагнитные клапаны для воздуха и инертных газов в высоковакуумных применениях. По данным производителя, работают при абсолютном давлении до 1×10⁻⁶ Па. Исполнения с торцевым уплотнением или с обжимным фитингом обеспечивают предельно низкое натекание — герметичность здесь задаётся конструкцией присоединения, а не только затяжкой.
Обжимной фитинг и торцевое уплотнение — не взаимозаменяемые варианты по вкусу. Торцевое уплотнение по схеме металл-металл даёт меньшее натекание и переносит прогрев камеры, но требует ответной поверхности соответствующего качества. Обжимной фитинг проще в монтаже и дешевле, но по натеканию уступает. Резьбовые исполнения Rc и NPT рассчитаны на менее жёсткие требования.
Выбор идёт от достижимого вакуума в установке и от того, прогревается ли камера. Если система прогревная — резьбовые исполнения отпадают сразу.
Прочее высоковакуумное оборудование SMC — в разделе изделий для высокого вакуума: там угловые и прямые клапаны серии XL, включая сильфонные.
Подобрать исполнение под вашу установку — напишите нам.
